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①受入檢查

對受取部件的來料品質(zhì)進行檢查并把品質(zhì)不良情況及相關(guān)不良照片及時反饋給客戶。

②化學(xué)清洗

把部件泡入藥液中進行化學(xué)清洗以去除表面沉積物。要點：陶瓷、石英類貴重或易碎部件的移動運輸必須使用專用保護周轉(zhuǎn)車；部品放在槽體內(nèi)必須用治具適當(dāng)保護。

③純水浸泡

將部件放入純水中漂洗或浸泡以去除殘留藥水。

④中和

用藥水中和掉部件上殘留的藥水和金屬粒子；以更加徹底地去除部品表面殘留的藥液和金屬粒子。

⑤純水浸泡

用純水浸泡方法把部品上殘留微量的藥水去除。

⑥高壓水沖洗

去除孔內(nèi)殘留污漬及顆粒物。

⑦超聲波清洗

用純水超音波清洗方法把部品上殘留的微粒子清洗掉。

⑧預(yù)干燥、吹干

去除部件表面水分，已便于最終干燥。

⑨最終干燥

將部件放在專用周轉(zhuǎn)車上，推進干燥箱，按照工藝要求對產(chǎn)品進行干燥。

⑩品質(zhì)檢查

對部件外觀、螺孔、表面粗糙度、particle等進行檢查確認。

?真空包裝

對最終品質(zhì)檢查OK的部件做氣槍吹掃后進行真空包裝。

?裝箱

將部件放入專用周轉(zhuǎn)箱內(nèi)。

注意：1.按標識區(qū)分各廠家周轉(zhuǎn)箱；2.裝箱前周轉(zhuǎn)箱表面必須保證  干凈無粉塵。

陶瓷熔射技術(shù)：將高純陶瓷通過等離子體熔射在零件上形成coating層，提高部件在各種Plasma Gas，尤其是以防止因F離子環(huán)境下等引起的部件腐蝕。我司2017年開始拓展陶瓷熔射業(yè)務(wù)，2019年成立公司陶瓷熔射事業(yè)部，批量導(dǎo)入TFT-LCD，OLED，半導(dǎo)體 熔射再生業(yè)務(wù)。

等離子噴涂原理圖示

Y2O3 Coating系統(tǒng)介紹：

1.  世界領(lǐng)先的進口三電極等離子噴涂設(shè)備

2.  6軸的機械手臂自動化操作方式

3.  3m × 2.5m操作平臺

Y2O3 Coating 粉體介紹

我司主要使用日本著名企業(yè)生產(chǎn)的氧化釔球體作為噴涂材料，通過掃描電鏡觀察，該系列球體更圓整，更規(guī)則非常適合用等離子熱噴涂。

特點：

1.產(chǎn)品粒徑分布集中，噴涂性能穩(wěn)定。

2.純度高，且穩(wěn)定。

3.規(guī)?；a(chǎn)，在光電行業(yè)有大量的實用案列。

Y2O3 Coating 性能介紹（結(jié)合力）

Y2O3 Coating 性能介紹（硬度）

Y2O3 Coating 性能介紹（孔隙率）

Y2O3 Coating 性能指標總覽：

Y₂O₃ Coating 在光電行業(yè)應(yīng)用范圍

在鋁母材上制備Y₂O₃ 涂層（Al+陽極氧化+ Y₂O₃涂層）

在陶瓷母材上制備Y2O3 涂層（陶瓷+涂層）

獨特的清洗劑配方，最大限度控制部件腐蝕問題，提高客戶使用次數(shù)。

性能測試

氧化55-65um耐電壓（kv）

膜厚測試標準50±5um

參照標準LAM實驗方法，對產(chǎn)品進行耐HCl的Bubble Test，判定標準為大于120min

原廠電極板數(shù)據(jù)測量

測量指標

耐擊穿電壓（≥3.0KV）（測試條件：Ac漏電流2mA）

粗糙度Ra=（0.2-0.4）um

膜厚（50-55）um

我司陽極電極板數(shù)據(jù)測試

說明：我司目前采用新工藝獲取的陽極膜性能指標和原廠相比較為接近吻合。

陽極氧化新工藝應(yīng)用在 大尺寸LCD（G8.5以上） ，OLED G 6.0， LTPS 主要解決大功率，高腐蝕氣氛刻蝕過程中，氧化層耐蝕性不足的問題。

目前大尺寸LCD（G8.5以上） ，OLED G 6.0 ， LTPS 的陽極氧化 以及 陽極氧化+Coating 均采用此工藝，反饋良好。

注：部件不同，流程會有相應(yīng)調(diào)整。

熔射產(chǎn)品 （使用后）的清洗，包括去除有機膠類、金屬化蝕刻產(chǎn)物，最終潔凈清洗。

我司具備的優(yōu)勢：

1.10年以上的光電行業(yè)的parts 清洗經(jīng)驗，

2.在半導(dǎo)體方面 掌握 Lam Research 14、28nm的洗凈技術(shù)，具備將半導(dǎo)體ETCH先進清洗技術(shù)向光電行業(yè)導(dǎo)入的條件。

目前在OLED，LCD 陶瓷熔射產(chǎn)品在，在積極的開發(fā)清洗工藝，嘗試通過清洗再生的方法，去除熔射層附著污染物 ，同時盡可能減少對熔射層的損耗，降低客戶PM成本。

針對 對particle 較為敏感的部件（如上電級），我司在100級無塵室作業(yè)，清洗，干燥，包裝的環(huán)境的particle 水平大大降低，降低了部件重新粘附particle的風(fēng)險。