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解決方案

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CVD部件清洗再生工藝流程-Diffuser

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CVD部件清洗再生工藝流程2-Susceptor

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核心技術(shù)

TQ工藝

高溫工藝下穩(wěn)定的 Anodizing 處理技術(shù) → CVD Parts film 上強化的耐久性 (Particle, Arcing)

適用產(chǎn)品 : Susceptor, Diffuser, Shadow Frame 等

CLEANINGHole

清洗技術(shù)

- Hole 內(nèi)部清洗及抑制擴孔。

TQ工藝

TQ coating = 更好的耐腐蝕性

為提高耐刻蝕性的Anodizing技術(shù) → 強化氧化膜的的耐腐蝕性

適用產(chǎn)品 : DIFF SUS S/F等

耐腐蝕測試

Porous參照標(biāo)準(zhǔn)LAM實驗方法，對產(chǎn)品進行耐HCl的Bubble Test，判定標(biāo)準(zhǔn)為大于120min

熱處理及DOME形成技術(shù)

擁有大型熱處理爐

掌握傳統(tǒng)熱整形技術(shù)，在整形前進行陽極，更好的保護了產(chǎn)品的表面。

開發(fā)新的整形技術(shù)，在噴砂前進行碗狀整形，在噴砂后會因為玻璃珠的濺射，使SUS變成我們想要的傘狀。大大提高交期

焊接(WELDING)技術(shù)

Susceptor Welding 技術(shù) : FSW

- 無材料的熔解過程，材料特性無變化。

研磨(Polishing)

擁有有效去除表面Dint, Arcing, Burr的經(jīng)驗積累。 (確保了維修產(chǎn)品的競爭力)

鏡面研磨(Backing Plate 用) 技術(shù)

- 為清除Backing Plate表面腐蝕和清洗的鏡面處理技術(shù)。 (GU>600)

服務(wù)履歷